苑博士讲钻石：CVD反应炉的种类及分析
发布时间：
2022-01-12 00:00
1，热丝 Hot Filament
2，直流电弧喷射 DC Arc Jet
3，微波等离子 Microwave Plasma
前二种适合生长多晶薄膜。微波分为2450MHz及915MHz两种频率， 后者可以做到25到100KW的功率，其托盘直径可达4-8英寸，较前者的生产效率（6KW，2英寸）高很多，大型设备是未来CVD炉的趋势。
等离子CVD反应炉厂牌及分析：
1、中国普莱斯曼 直流电弧喷射式CVD炉，适合做多晶金刚石片，等离子体温度极高，约为6000ºC。
2、日本 Cornes (SEKI) 直筒式，快长后HPHT改色会有灰黑色产生，慢长可直接长白；SDS6K掀盖式，快长后HPHT改色可以产生正常白色。
3、德国 Iplas Cyrannus，适合生长大面积多晶片，长单晶会有灰黑色。
4、法国/瑞士 Plasmadiam SSDR150直筒式，快长后HPHT改色会有灰黑色产生，慢长可直接长白，四周多晶会外扩非常大。
5、德国 Aixtron 915MHz 60kW，全世界体积最大台。谐振腔为大椭圆球形，生长腔体为玻璃钟罩，快长后HPHT改色会有灰黑色产生，适合生长大面积（6英寸）多晶。
6、美国 Lightbox直筒式6英寸托盘，快长后HPHT改色可以产生正常白色，现为全世界最好的机型。
7、中国 东莞优普莱、成都沃特塞恩（纽曼和瑞）、成都华宇
、成都稳正、上海铂世光、无锡远稳，所有机型快长后，HPHT改色会有灰黑色产生，慢长部分可长稍白，部分浅灰。
直流电弧喷射式CVD炉
直流电弧喷射式CVD生长中之等离子体
笔者2008年元月份利用直流电弧喷射式CVD炉生长出第一颗CVD单晶培育钻石
日本 Cornes (SEKI) SDS6K
日本Seki公司于1999年采用美国ASTeX公司的专利技术研发成功了微波等离子体化学气相沉积金刚石系统，并向全世界销售了500台以上的设备用于实验与商业生产。2014年被Cornes公司并购，生产的掀盖式SDS6K型MPCVD设备沿用了Seki的技术。
SEKI 0.915GHz Model AX6600 100kW
华盛顿DC卡内基研究所地球物理实验室，使用日本 SEKI 制造的微波 CVD 反应器。
德国 Iplas Cyrannus
法国/瑞士 Plasmadiam SSDR150
Aixtron 915MHz 60kW
德国 Aixtron 915MHz 60KW 微波辐射路径在椭圆室内形成等离子体
Lightbox直筒式谐振腔CVD炉
Lightox 现用6英寸托盘的CVD炉示意图
Lightox的微波CVD机器是全球生长首饰培育钻石最好的设备，可以快长直接或处理后颜色正白，不带灰黑，托盘为6英寸，性价比最好，是未来其他厂家改进的目标。如果达到同样的机器效果，Lightox在美国生长，我们在中国生长，所有的开销均较他们为低，可以不怕他们的低价政策。
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